제 25회 반도체 대전 SEDEX
October 25 ~ 27 / COEX SEOUL
Paultec Co., Ltd.
Booth No.C8121) nSpec 분석 장비 : 미국 Nanotronics의 AI 및 딥러닝 기술이 적용된 particle & defect의 전 자동 분석 시스템
2) FS-1 엘립소미터 장비 : 미국 Film sense의 다파장 엘립소미터로 박막 두께 측정 및 굴절률 측정 장비
3) Hollow Cathode 플라즈마 소스 : 캐나다 Meaglow의 플라즈마 소스로, 기존의 플라즈마 소스의 문제점을 해결할 수 있는 차세대 solution.
1) nSpec : Automated optical inspection system of Nanotronics, which can detect surface particle and defects with AI and deep learning solutions
2) FS-1 ellipsometer : Multi-wavelength ellipsometer of Film Sense, which can measure the thickness and index refraction of thin film.
3) Hollow Cathode Plasma Source : The source of Meaglow is the 'next generation' solution to many old problems of current plasma source.
폴텍 주식회사는 화합물 반도체와 LED 분야에 전문성을 가지고, 다양한 종류의 화합물 기판 및 에피 웨이퍼와 다양한 측정 또는 분석 장비와 결정 성장 및 에피 공정에 사용되는 시뮬레이션 소프트웨어를 국내에 공급하고 있습니다.
Paultec is a trading company with expertise in the field of compound semiconductor and LED, providing various semiconductor compound epi wafers & chips, production & measuring equipment and simulation software in Korea.